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冷水机在真空镀膜工艺中会起到什么作用

2016-06-13 08:01:54 admin

【冷水机】中频真空镀膜机一般是要配一台冷水机作为镀膜机(主要是圆柱靶)的冷却设备。那么冷水机到底对真空镀膜工艺或者是镀膜设备有什么作用呢?
真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以生产必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽且结合力也很差。
【低温冷水机】早期的真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合了差工效低光泽差。现在加上了中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出的大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积到基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。
中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。

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